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ZnOトランジスタ??

1 :痔怨:05/01/26 01:37:29
ZnOトランジスタについて語りましょう。
よろしくお願いします。


2 :痔怨:05/01/26 01:38:53
私は大学でZnOFETの研究をしています。
PLDで作製しているのですが、なかなか上手くいきません・・・。
果たしてできるのか・・・。



3 :痔怨:05/01/26 01:43:24
某大の友人が液層法での作製を試みてるとか・・・。
PLDでも微妙なのに、液層法でなんてできるのでしょうか??
どなた様かいろいろ教えてください。

液層法で界面とか考えずにできるのかな?
出来るなら、PLDで苦労してるのがバカみたいな・・・。

4 :名も無きマテリアルさん:05/01/26 07:46:34
FETなんだったら,DMSなんでしょ?
だったら,液相法使っても厳しいんじゃないの?

5 :名なしの侍:05/01/26 17:48:44
DMSなのかな。
チャネルを単結晶likeなZnOで、界面と絶縁層で研究?


6 :名なしの侍:05/01/26 17:51:34
絶縁層ならHigh-kだよね。SiO2,SiNとかもあるみたいだけど。
HfO2、ZrO2がハヤリ。


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