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膜厚測定装置について

1 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 00:43
新米の製膜職人から皆様に質問があります。金属膜の厚さを測定するツールはたくさんありますが、
Laser系を使ったものに関していろいろ情報いただけませんか?
Web上で調べてみたのですがたいした内容は見つけられませんでした。


2 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 01:18
今だ!2ゲットオォォォォ!!
 ̄ ̄ ̄ ̄ ̄∨ ̄ ̄ ̄       (´´
     ∧∧   )      (´⌒(´
  ⊂(゚Д゚⊂⌒`つ≡≡≡(´⌒;;;≡≡≡
        ̄ ̄  (´⌒(´⌒;;
      ズザーーーーーッ


3 :かおりん祭り ◆IidAAeuI :02/03/02 01:45
\(^▽^)/新スレおめでとうございま−す♪
     

4 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 01:59
微細形状測定で検索すればいっぱいでてくるような
ATM、STMとかで測定できるような、
トンネル電流を一定にするんじゃなくて、トンネル電流を測定する。
SEMでこれをやる人はたくさんいると思います。

5 :同業者?:02/03/02 02:39
>>1
金属膜ウエハの測定?
なら、2社あるよ。(特許の関係でこの2社しかだせないと思うよ。)
どっちも、億/1台します。
年間メンテナンス費は、どっちも年500万弱するよ。

6 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 03:02
Laser?
単色エリプソのことか?
分光エリプソの方がいいぞ。

7 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 03:04
5の方へ
質問カキコした者です。
その2社はよく似たR社とP社のことですか?
機能、使い勝手とかもし詳しいこと知っていたら教えてもらえますか?
Laser系を使った金属膜の厚さを測定するツールは他にはないのでしょうか?
できれば、文献なども探したいです。



8 :ヘツツ?チB:02/03/02 04:54
Demoか営業よべばプレゼン資料くれますよ。そこに原理とか書いてありましたね。
とりあえず、P社しか使ったことはありません。すくなくてもP社は、今、暇そう。あんまり売れてないです。
測定時間は、Map49ptsで2?3分(1pts;2?3秒)ですね。
任意の座標にXYって感じで測定点を設けられるモードもあります。
測定1ptsが50nm×30nmくらい(確か)で、4端針よりかなり小さいので詳細な測定には、イイですね。
Edgeそくていなんて感動モノです。パターンの金属膜も測定できます。
これは、非接触ならではと思います。段差計ぽく使えますね。
レシピを組むのがなれるまで、少し厄介ですね。
表面の金属膜からSiまでの膜構造とかを入力しなきゃいけません。
パターン認識のレシピは、かーてんの測定が使えれば問題ないです。
あと、表面が荒れていたり、うねっていたりすると測定にならない場合が多いです。
最近の膜なら大丈夫になってきたみたいですよ。
R社の日本代理店は、T社(電話)です。

> Laser系を使った金属膜の厚さを測定するツールは他にはないのでしょうか?
> できれば、文献なども探したいです。
ごめんなさい。金属膜で非接触測定で知っているのは、その2社です。
文献は、さがしてません。勉強不足で申し訳ありません。
特許が、確かレザーの波のちがいで測定するというので取ってるんですよ。
表現がよくないですけど、縦波、横波の違いみたいなものですね。
なんでR社、P社しか売れないと思いますよ。

9 :すみません:02/03/02 04:58
文字化けしてしまいました。
・1ウエハ49pts2、3分
・1pts2、3秒
です。

10 :厚さ:02/03/03 00:31
SEMで割ってみて測定する。日立がお勧め。
測長SEMで傾けてみる。正確な数字は出てこないが推測はできる。
これなら、割らずにすむ。

11 :厚さ2:02/03/03 00:32
渦電流でみるってヤツもありますね。

12 :名も無きマテリアルさん:02/03/03 01:09
Boxer Crossも調べてみては?昨年のSEMICON JAPANで出てたよ。
確かH(もも?)社が代理店してるね。
詳しいことはわからんが、熱伝導率を計算するらしい?

13 :407:02/03/03 15:11
可視光つかった、屈折率系なんてイイのあります?


14 :たぶん:02/03/03 20:11
>>13
可視光つかった屈折率系だったら、
膜種の違いをみるのがやっとなのでは?

膜厚までは厳しいと思いますよ。

15 :しつもん:02/03/04 01:53
>>13
直前まで、どこのスレにいたんですか?
407って?

16 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 11:47
可視光を使った屈折率系と言ったら、
白色光をサンプルに当ててその反射光をスペクトルから膜厚を計算するやつがあるね。
計算にはサンプルに構成されるそれぞれの膜の屈折率が必要になるよ。


17 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 12:03
簡単にできるんなら、エリプソ。
あとX線反射率とかの方法がある。
1は非破壊でしたいってことか?

18 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 16:01
17の方へ
非破壊、非接触で測定できるものに関して探しています。
さらに数十umの領域(スポット)で測定できるものです。
X線反射率で測定する際は、(有効)測定領域はどれくらいになるのでしょうか?

19 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 17:03
X線反射率は入射角が非常に浅いので、広域(ミリのオーダー)を測定
することになります。だからミクロンサイズには向かないね。
 膜厚分布みたいのなら、膜を堆積する時、堆積しない領域を作って
デクタクとかで計るのが手っ取り早いし正確だよ。

20 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 19:10
19の方へ
ご意見ありがとうございます。
段差計で測る手法はうちでも昔からやっているようです。
デポする前のウエハに対してポリイミドテープ(カプトンテープ)を十字に貼ってそれかデポして
テープを剥ぐ方法とか、測定箇所をエッチングしてやる方法ですよね?
どちらも手数が掛かるのでもっと簡便に使える測定ツールをと考えています。

21 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 19:43
Boxer Crossの膜厚測定器について何かご存知の方いらっしゃいませんか?


22 :たしか:02/03/07 01:16
>>16, 17
1さんは、厚めの金属膜測定を希望していると思いますので無理だと思いますよ。
フッティングが合うとは思えません。
酸化膜系なら問題なく測定できますが。
また、1さんは、将来かなり3元系以上の金属膜にも手を出さなければならない人だとおもいます。その辺も知りたいんじゃ無いんですかね。

>>20
それならやっぱり、R社かP社だと思いますよ。
50nm×30nmとか書いちゃいましたけど、間違いです。数十umの領域(スポット)um単位です。ちなみに、CRに置くんですか?300対応必須ですか?

23 :名も無きマテリアルさん:02/04/18 16:47
スレ違いかもしれませんが、質問です。
数十ナノ〜数百ナノ程度の膜厚測るには
やっぱり専門の装置が必要でしょうか。
お値段いくらくらいなのかなぁ・・・。

AFMでも測れんことはないんですが、
非常に面倒なんで・・・。

24 :名も無きマテリアルさん:02/04/19 01:12
>>23
そのくらいだと、専用の装置が必要ではないでしょうか?
R社の装置を使っている知人は、それくらいの膜厚は測定しているようです。
金額は、おおざっぱに5千万以上だとか、、、金額は自信ありません。
友人は使っているだけなので、、、

25 :23:02/04/19 11:16
>>24
さすがに5千万はキツイですね・・・。
あきらめるか。
情報ありがとうございました。


26 :某装置屋:02/04/19 13:48
P社はやめちゃうみたいな感じだよ。高い金出して買収した会社&技術なのにね。
PやRの光音響系の装置は薄い膜(<10nm)はNGみたい。エリプソは厚い膜がNG。
どちらも膜質の影響が大なのが難点。
XRRは絶対値が非破壊で出るけどスポットが大きいのと測定時間がかかるのが難点。
XRFはキャリブレーションが必要なのと測定時間とスポットサイズが難点。
上にあげたどれもこれも値段が高いのが難点。
じゃ、全部OKなのはどれかって?知ってる人いたら教えてね。僕が製品化して儲けるし。



27 :名無し人:02/04/20 01:35
>>26さんへ
知っていたら教えてください。

日本撤退って話じゃなくって?
世界規模での撤退なのですか?

28 :26:02/04/20 23:55
>>27
はっきり撤退と宣言するかどうかは別にして、開発は事実上止めているらしいとおもわれ



29 :27:02/04/21 20:46
>>28

海外の開発部門が止めてるってことですよね?

去年の下半期に装置のバージョンが上がったばっかりだから
開発が止まったように見えているだけじゃないんですか?

30 :26:02/04/22 00:05
まあそのうちわかるって


31 :名無し人:02/04/22 02:55
>>30
何者ですか?

32 :age:02/05/06 00:59
あげ

33 :age:02/05/13 00:54
油あげ

34 :26:02/05/29 15:48
Rに対抗して膜厚計やりたい人(or会社)は今オランダに行って交渉すれば喜んでまるごと売ってくれると思うよ。
思うけどね、手出さないがいいよ。Cu用バリア膜が数nmになろうという今、10nm以下は計れませんなんていう
装置にはボリュームマーケットは存在しないからね。


35 :名も無きマテリアルさん:02/05/30 01:25
「んとk」の機械はダメ?
10μmまではOKらしいが...


36 :26:02/05/30 08:54
「んとk」は光学式だから金属膜に関しては極薄い膜にしか適用できないし膜質の影響について
十分注意しながら測定しないといけないとおもわれ
10μm云々は透明膜のはなしだろ


37 :装置屋太郎 ◆187RZS9w :02/06/03 11:09
金属膜の測定に関して言えば、65nmノードでまた大きな転換が転換が起こる可能性大とおもわれ。
おいレーザー屋、このままじゃバリアが計れねえぞ。なんとかできるの?あと1年しかねえぞ。


38 :装置屋太郎 ◆187RZS9w :02/06/03 12:04
ど、どもっちまったぜい。
照る照る坊主も商売続けたきゃ、なんとかさせろよな。


39 :でもね:02/06/09 19:08
>>34
なるほど、バリア膜が測定できないわけですか?
でも、CuならOKなわけでしょ?

40 :26:02/06/11 09:58
>>39
あのね、何か測定できればいいってもんじゃないでしょ。Cuだけの為にあれだけの値段をだすとすればそれはおばかさん。
導入メリット >> 装置価格+COO, 装置価格 >> 製造コスト, 装置価格+COO < 競合製品
が満足されないと意味が無いのが商業製品ってもんよ。この2〜3年惨憺たる成績だったのをP.A.が覆い隠していても
「さる事情」により各事業ごとの採算性を厳しく査定する必要を生じたものとおもわれ。

まあ、負け馬に乗った人は泣き寝入りするんだなw


41 :26:02/06/11 10:00
>>39
まあ、私の意見が全く間違いだと思うなら、あんたあの事業買ったら?


42 :39:02/06/12 00:50
基本的な質問で何なんですけれども、R社ならバリア膜の測定もOK?

43 :26:02/06/12 10:08
Pよりは薄いところまではかれる(らしい)けど65nmで10nmを切るというのがホントなら
90nmまでしかつかえない。でも、裏でがんばっているものとおもわれ。


44 :39:02/06/16 16:22
>>43
ありがとうございます。

45 :名も無きマテリアルさん:02/06/18 01:39
ジョバンのエリプソってどうよ?


46 :名も無きマテリアルさん:02/06/19 11:46
age

47 :名も無きマテリアルさん :02/06/19 21:25
SPR
表面プラズモン共鳴装置

48 :名も無きマテリアルさん:02/06/19 22:23
age

49 :装置屋太郎 ◆187RZS9w :02/06/26 11:18
本当のトレンドが知りたいやつはこんなとこでくっちゃべってないで次の会議に参加せよ
http://www.eeel.nist.gov/812/conference/links.html


50 :装置屋太郎 ◆187RZS9w :02/06/26 11:24
2003年3月だから、ちょっと先過ぎるかな?URLはこっちが正解
http://www.eeel.nist.gov/812/conference/


51 :名も無きマテリアルさん:02/06/27 02:41
Pから今年中にレーザー方式の新しい膜厚計がでるみたい。ほんとに撤退するの?

52 :名も無きマテリアルさん:02/06/27 02:54
膜厚計も大変だけど、俺たち(日本)のLow-k膜はどうなるんだろう…。

53 :39:02/06/30 06:03
すべてのプレーヤーにありがとうを。
2ちゃんねるからの提案です・・・・・

World Cup Final Ceremony
http://jbbs.shitaraba.com/sports/319/
>>有志による作戦本部BBS

http://sports2.2ch.net/test/read.cgi/wc/1025209054/
>>横浜でホスト国の本来の姿を見せようじゃないか4

http://www.geocities.com/sanmakami/index.html
>>テンプレ(企画内容)

2ch発ワールドカップ最後の祭りをしよう!


54 :かつお:02/07/01 21:27
http://hadakaa.up.to
いままでで一番ネタとして使えた。一番良心的なとこです。だからみんなにおすそわけ、これで夜は困らないよママン!
  ∩_∩
 ( ´∀`)
 (    )
 | | |
 (∩_)_)
  | | ∩|    / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
  | |゚Д゚)  < これでネタに困らないよ!ありがとうママン!
  |   |    \__________
  |   |
 ./| ∩ |
  U U



55 :26:02/07/09 08:48
>>51
Philips Analyticalは半導体部門撤退の第2弾としてエリプソから撤退しました。
http://www.siliconstrategies.com/story/OEG20020707S0018


56 :26:02/07/09 09:44
55で紹介したニュースの1行目にも書いてあるでしょ、利益重視路線への転換の中でって
レーザータイプもまっかっかだから正式発表のタイミングを計っていると思うよ。
足かせを全部取っ払わないと「でかい話」のほうが決着しないからね。

57 :名も無きマテリアルさん:02/07/09 10:35
>>52
low-k膜でお困りなら、相談に乗りますが、たぶん、いい加減なその辺の営業やマーケティング、外向けの対応してる人よりは解をもってるはず。

58 :名も無きマテリアルさん:02/07/10 02:05
DIGDAG

59 :名も無きマテリアルさん:02/07/14 03:14
26さんは内部の方? ほかに裏情報(うわさ)とかあったら教えてください。

60 :名も無きマテリアルさん:02/07/14 06:02
http://js-web.cside.com/

61 :26:02/07/14 23:59
>>59
だから、56で言ってるじゃない。「でかい話」が近々(数ヶ月以内)発表されると思うよ。
業界関係者ならみんな知っているので知らないって事は貴方は利害関係ないんだろ。
なら、発表まで待てw


62 :名も無きマテリアルさん:02/07/19 00:41
R社のエリプソってどうよ。

63 :名も無きマテリアルさん:02/07/19 23:16
>>52,57
日本のセミコンダクターがもっと明確に目標設定しなきゃ、世界で生き残れないよ。
Low-k膜にどんな物性値を求める?
明確に根拠を持って提示できる?


64 :26:02/07/20 09:01
>>59
P.A.リストラ続編
Accent Optical Technologies to Acquire Philips Analytical’s Waterloo, Canada Operations
http://www.accentopto.com/main.asp?page=/home.asp

65 :26:02/07/20 09:16
>>59
ついに、「でかい話」は発表になりました。
http://www.newscenter.philips.com/InformationCenter/NewsCenter/FPressRelease.asp?lArticleId=2417&lNodeId=13
P.A.はそのビジネスの大半がX線なのでそれを売ってしまったとなると残りの
レーザー膜厚計(しかも大赤字)単独で事業を継続することはありえないと思います。
良くて他者へ売却ですが、あれだけ赤字のものをだれか引き受けるかしらん?

66 :名も無きマテリアルさん:02/07/23 02:05
Laser Technique + ? =

67 ::02/07/23 02:12
http://www.lulun.com/adult/ranking.cgi?links=709&urls=rkg

68 :26:02/07/23 17:21
ここのところ情報が交錯していましたが、正確なところがはいってきました。
エリプソメーター     Philips自体が撤退を決定
X線分析装置       PhilipsがSpectrisに売却、直後にSpectrisはそのうちの
             Waterlooブランドの部門をAccentに転売
レーザー膜厚計      今回の売却に含まれず、旧Philips Analyticalの
             なかで唯一Philips Electronicsの傘下に残っている。
             分析部門の経営を断念したP.A.がこの部門を単独で存続することは
             ありえず、買収してくれるところを探しているとのうわさ。
             適当な売却先が現れなければ(ここまで現れなかったのだが)、撤退か?
ですから、レーザー膜厚計をどうしても存続させたいあなたは、今すぐアルメロへどうぞ。

69 :407:02/07/24 23:25
え〜と、分からないのですが、PAは真っ赤っかのレーザー部門を含めても全体では
ものすごく羽振りのヨイ所だったはずなのに何故でしょう?
回折は日本以外の世界中で敵なしでしょ。


70 :名も無きマテリアルさん:02/07/25 00:33
P自体がぐらぐらなので数少ない黒字部門(159MEuro)であるPAを’高く’(150MEuro)売却することで
赤を埋めようとした。
PA自体はもともと健全経営なのでかえって高い上納金をPに払う
必要がなくなった分、今まで以上に伸びる可能性が大きい。


71 :名も無きマテリアルさん:02/07/25 00:44
68さん WaterLooブランドって何?

72 :名も無きマテリアルさん:02/07/25 08:36
Pに払う上納金がSpectrisに変わっただけでは?
コロニーは所詮コロニー。PもSpectrisもどこも役員クラスはベンツ2台
に豪邸と......。

73 :名も無きマテリアルさん:02/07/25 09:34
68さん アルメロってなに? カリメロ?

74 :山J:02/07/25 23:45
滝?

75 :lemon:02/07/26 10:47
鮭!

76 :見人:02/07/26 20:23
蒸着をする時に膜厚を測りたいのですが、どなたか水晶振動子を使った膜厚計の
原理と構造が詳しくのったHPや資料を知りませんか?お金がないので自作したい
のですが・・・

77 :名も無きマテリアルさん:02/07/27 01:33
>>73
着メロ?
さぶ。。。

78 :Pulse:02/07/27 14:31
76さん 超音波エコーをモニターするってことかな? どんなサンプルを測定したいの?

79 :見人:02/07/27 17:40
>78
ガラスに銀を蒸着したり、有機材料を蒸着する時に、厚さを知りたいんです。
厚さをモニタリングしながら、蒸着する材質を変えていきたいので。

80 :見人:02/07/27 22:09
追加
真空蒸着装置でのことです。

81 :山K:02/07/28 00:58
徳田新之助?

82 :26:02/07/30 22:13
55で正式発表されたはずのエリプソの売却は再考して改めて売却先を探すんだと。
未練たらしいやつ。誰か買ってやったら、KLA TencorやRudolphに勝てるなら。

83 :26:02/07/30 22:18
>>69 >>70
別スレを読め
>>71
フォトルミネッセンスとXRDをやってるカナダにある会社
>>73
P.A.のHQの所在地

84 :26:02/09/25 22:02
XRRのB社が照る照る坊主とつるんで本格的に日本進出だそうだね

85 :山崎渉:03/01/06 15:48
(^^) 

86 :名も無きマテリアルさん:03/01/08 00:47
膜厚をはかりたいのですが適当なマスクが分かりません。
基板温度がかなり高温になるためポリイミドテープでは難しいかもしれません。
熱CVDのような高温中で基板に生膜するときはどのような方法でマスクをして
いるんでしょうか?

87 :名も無きマテリアルさん:03/01/08 13:41
もしかして、段差をはかりたいのですか?
そのくらい、自分の頭で考えたら?
おつむは防止の大蛇ないのよ

88 :山崎渉:03/03/13 13:13
(^^)

89 :26:03/03/17 18:53
なんと、結局ISTSの部門は誰も買い手がつかず(?)そのままRoyal Duch Philipsの傘下に残ったまま。
でも、親だったPhilips Analyticalの傘下自体が売り飛ばされてPanalyticalになったので
その営業網、サービス網はもはや使えず、自前で商社を募集中らしい。

それにしても、をいをい、日本Pには扱ってもらえないのかよ。兄弟会社だろ。
日生エレってパナリティカルのライバルのホリバやリガクのお仲間の目立高テクの子会社だね。あてつけかい?

このへんの事情は前のwebサイトの著作権すらままならないのか「工事中」な
Philips AMS のWebサイトをごろうじろ

90 :26:03/03/17 18:54
リンク忘れ
http://www.philips-ams.com/


91 :26:03/03/17 19:00
しかし、大PはまだAMSに追い銭してるのかね?追い銭したより高い値で売れるとも...
今や勝負は <10nm なのにISTSに勝機があるとはとても思えん...

92 :26:03/03/17 19:15
ってことで、大Pの忍耐力が僕の想像の斜め上をいっているので、
現時点では>>26で予告した「P.A.売却と共にISTSは終了」は外れってことで
陳謝しときます。
実質は終わっているのだが.....

93 :26:03/03/18 16:03
>>84に書いたB社は巨人I社に大量納入を当て込んで行った大量採用とは裏腹に
売り上げが急速にダウンし、市場から調達した資金も既にそこをつき、
経営報告をリリースするたび株価は急降下、今ではいっときの1/20と紙くず同然

http://ww6.investorrelations.co.uk/bede/SharePrice.shtml

さあ、どうする照る照る坊主! これを機にBを買収してX線に進出か???

94 :山崎渉:03/04/17 09:06
(^^)

95 :山崎渉:03/04/20 04:28
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)

96 :26:03/04/21 10:32
売れ残り品の続報
結局売れ残って大Pの手元にあるISTS事業ですが、
ご奇特な既存ユーザがいくばくかあるので、
メンテとそれから万一の追加発注を期待して事業を続けていると...
もちろん、有力なメンバーは他所へ行ってしまったと...
でも、顧客の手前、開発はやっていることにしないといけないと...
みんな風の噂ですが。

97 :26:03/04/21 10:36
あわれB社の株価はついに一桁シリング(ポンドじゃないぜ!)台に突入!!!
つまり十何円ってこと。

98 :名も無きマテリアルさん:03/04/22 01:01
nanometricsのロボット いいよ。当然アルファステップで検定してから使うけどね。
ナノインデンターでの破壊試験てのはダメ?

99 :bloom:03/04/22 01:11
http://homepage.mac.com/ayaya16/

100 :名も無きマテリアルさん:03/04/22 12:11
【クレジットカードのショッピング枠を現金化!】

クレジットカードで買い物をすると、商品代金の80〜90%のキャッシュバック!!
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■■朝日カード■■
http://www2.pekori.to/~ryu/asahi/


101 : :03/04/27 14:25
まあ、広告に100ゲトされたわけだが...

102 :山崎渉:03/05/21 23:57
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

103 :山崎渉:03/05/28 14:37
     ∧_∧
ピュ.ー (  ^^ ) <これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄〕
  = ◎――◎                      山崎渉

104 :Nanashi_et_al.:03/09/28 11:33
高い装置買わないと、出来ないのか?

105 :名も無きマテリアルさん :03/09/28 11:34
あげ

106 :名も無きマテリアルさん :03/11/08 21:50
JY(補離馬)のエリプソってどうでつか?

107 :愛子:03/11/09 00:35
ttp://aiko.fam.cx/

108 :裏狩人 ◆hpkblLndVA :04/04/03 17:26
あいうえお

109 :◆cOAg7C2WZs :04/04/03 17:27
かきくけこ

110 :◆EhVCAQxgbE :04/04/03 17:27
さしすせそ

111 :裏人 ◆EhVCAQxgbE :04/04/03 17:28
たち

112 :◆vVeAQHezng :04/04/03 17:28
たち

113 :◆mloC/fJlNc :04/04/03 17:29
いい

114 :◆4zjBNgl.fM :04/04/03 17:30
123

115 :裏狩人 ◆4zjBNgl.fM :04/04/03 17:30
うう

116 :裏狩人 ◇4zjBNgl.fM:04/04/03 17:31
いお

117 :横溝正史は謎の人 ◆e3C3OJA4Lw :04/05/05 12:53
おまえあたまくさいよ

118 :名も無きマテリアルさん:04/05/08 23:48
(^^)

119 :名も無きマテリアルさん:04/05/12 15:58
     _,,,,,,,,
     , - ' ゙    `` ‐ 、_,,,,,
   ,r'          /=ミ
  /           彡ll',''´
. /             彡lll
 !-- .、    ,、、、、,,,   彡lノ
 l,,,,,__ /   ___     'r''゙ヽ
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 |.   ,'           //
. ',. ,'           , r'
.  ゙, ゙'ー ‐`      l  |
   ゙、''゙ ,,、二''‐    ノ  l、
''''''''7'ヽ  '''    /   /`〉`゙T''''''''''
  l  ` 、,,,,、- ' "    / /.|  |
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【ゴールデンレス】
このレスを見た人はコピペでもいいので
10分以内に3つのスレへ貼り付けてください。
そうすれば14日後好きな人から告白されるわ宝くじは当たるわ
出世しまくるわ体の悪い所全部治るわでえらい事です
俺も貼ります

120 : :04/07/23 17:01
フィリップスAMSの社長が
「全てのアプリケーションで最高性能の高価な装置(メタパル巣のこと?)が必要なわけではない」という趣旨の発言

そんなこというようになっちゃおしめーだな

121 :名も無きマテリアルさん:04/11/28 12:42:53
カメカとKLA TENCORが似た様な装置つくってるけど、
どこがちがうんかね?X線使うってとこはいっしょらしいけど。

122 : :04/12/01 07:04:32
KLAはあれ実質あきらめたっていう噂

123 :名も無きマテリアルさん:04/12/01 22:12:11
金属箔上にコーティングされたプラスチック薄膜の厚さってどうやって測定すればいいんでしょうか?
0.01μmの精度が欲しい。

124 :名も無きマテリアルさん:04/12/06 18:00:28
>>123
製膜前にマスクなどをかけて段差をつけることが可能なら、
多重反射干渉法が簡単かなあ。きれいな鏡面になってれば、
10nm の精度は多分出せる。

あとは透明なプラスチックだったら反射スペクトルから干渉
効果を見て推定するとか、誘電率がわかってれば電極付けて
キャパシタンス測ってみるとか。

いずれにしても、それほど簡単ではないでしょうね。あと
形状膜厚が欲しいか質量膜厚が欲しいか物性膜厚が欲しいか
などによって方法も変わってきます。

参考書としては吉田『薄膜』培風館などをオススメ。

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