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CMP(平坦化)装置について

1 :名も無きマテリアルさん:01/09/26 18:48
だれかCMP装置業界の人いたら教えてください。
たとえば開発の状況であるとか、シェアについてとか。
自分はCMPのプロセスに興味があるんですけど、実務経験がないと
どこも採ってくんないみたいで…。

2 : :01/09/30 21:14
   __ )   __ )                   ハニャーン
γ´γ~   \γ~   \ ハニャーソ                       ハニャーン
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 |  ,:|          CCさくら板  http://saki.2ch.net/sakura/index.html
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3 :えーっと:01/10/04 23:26
1位 AMAT(60-70%) 2位荏原製作所 3位 IPEC その他(LamResearch、

東京精密、他)

AMATは従来回転定盤方式、IPECはOrbital方式、LamはLinear方式。

後の方ほど革新的と言われている。特に300mmウェハ等に有利。

CMPは遊離砥粒研磨(粉の入った研磨剤使用)だが、固定砥粒方式(サンド

ペーパみたいなので研磨)というのも注目されている。AMATが熱心。

これになると装置が大幅に変わる。

銅配線は来年あたりから普及するので、各社シェア争いが盛ん。

装置の性能よりもサービス体制の充実度などが選考のポイントになる。

4 :名も無きマテリアルさん:01/10/20 01:10
> 自分はCMPのプロセスに興味があるんですけど、
> 実務経験がないとどこも採ってくんないみたいで…。

そうでもないよ。

5 :名も無きマテリアルさん:01/10/21 20:50
LamResearch
台湾でシェア拡大中!!

6 :やくると:01/10/23 00:05
東京精密って、まだやってたんだ。

7 : ◆83hcduWk :02/01/02 01:09


8 :名も無きマテリアルさん:02/01/13 12:57
http://page.freett.com/yasudadake/kaonono.mpg
http://csx.jp/~yuki_nono/mpg/vtr_onegai.mpg

9 :名も無きマテリアルさん:02/01/13 13:11
http://page.freett.com/ee2001/hinamatsuri.mp3

10 :名も無きマテリアルさん:02/01/14 19:54
http://page.freett.com/mouwakaranyo/18.mpg

11 :名も無きマテリアルさん:02/01/14 19:56
http://big.freett.com/mouwakaranyo/18.mpg

12 :test:02/04/17 16:37
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2008.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2011.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2007.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2013.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2009.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2005.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2012.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2015.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2018.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2000.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2001.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2016.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2006.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2017.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2014.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2010.rez
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http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2003.rez

13 :test:02/04/17 16:37
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14 : ◆NL9zz1tw :02/07/15 00:17


15 :名も無きマテリアルさん:02/07/20 02:58
もしかして…

16 :名も無きマテリアルさん:02/07/23 01:04
なんだよ、みんな見られねージャねーか

17 :あぼーん:あぼーん
あぼーん

18 :山崎渉:03/01/06 15:32
(^^) 

19 :山崎渉:03/03/13 13:30
(^^)

20 :山崎渉:03/04/17 09:08
(^^)

21 :あぼーん:あぼーん
あぼーん

22 :あぼーん:あぼーん
あぼーん

23 :あぼーん:あぼーん
あぼーん

24 :あぼーん:あぼーん
あぼーん

25 :あぼーん:あぼーん
あぼーん

26 :名も無きマテリアルさん:03/12/17 21:25
   :    ;;   ;        
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27 :名も無きマテリアルさん:03/12/17 21:28
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28 :名も無きマテリアルさん:04/03/05 02:16
>>1
まずは自分を磨け。

29 :Nanashi_et_al:04/03/20 08:02
しらんne


30 :名無しさん@3周年:04/05/02 09:03
CMPに使う研磨剤ってどこがシェア高いの?
海外から色々売り込みにくるので、誰かお願いします!

31 :名も無きマテリアルさん:04/05/03 09:50
『キャボット』
かな〜??
日本だと、日立化成、JSRあたり

32 :sage:04/05/03 17:19
ロデール使用

33 :名無しさん@3周年:04/05/03 19:28
31,32さんに感謝します

34 :名も無きマテリアルさん:04/05/03 20:26
ロデールはパッドでは?

35 :sage:04/05/03 22:34
少量ですが出荷してます

36 :名も無きマテリアルさん:04/05/04 00:08
うんこーくれ!!!!!

37 :名も無きマテリアルさん:04/05/13 22:17
ロデール以外でいいパッドってありませんか?

38 :名も無きマテリアルさん :04/09/27 23:43:24
東京精密のチャンプってどうよ?

39 :名も無きマテリアルさん:2005/06/07(火) 16:51:34 P2 210.170.170.118(PPPbf1118.chiba-ip.dti.ne.jp)
sage

40 :名も無きマテリアルさん:2005/07/09(土) 23:47:47
>>37
残念ながら有力候補なし。
何で均一性悪いの????

41 :774& ◆FJotLDPJXU :2005/07/11(月) 07:13:00
>CMPに使う研磨剤ってどこがシェア高いの?

ロデールだろう。ロデールニッタって言う商社を通てして販売してている
後はサイトン ここはロデールより安い
あと日産化学もある

>PAD
大阪の千代田っていう商社が売ってる第一レース社のPADも悪くない
あと繊維やってるユニチカとかやってたかも?


42 :774& ◆FJotLDPJXU :2005/07/12(火) 10:56:53
ロデールは奈良県の工場にデモ装置とかがあり
実験も可能

43 :名も無きマテリアルさん:2005/07/14(木) 12:32:24
>>41
ロデールニッタがパッドのメーカーです。

(ニッタ本社とロデール社との合弁会社だったと思う。
ちなみにニッタ社はベルトメーカーであり、自動車学校や牧場を経営している。
工場見学した際、牧場で作っていたバターをプレゼントされた)


ロデールアジアだったと思うけども、そこが販社となって販売している

44 :名も無きマテリアルさん:2005/07/14(木) 12:38:18
ちなみに工場見学したほうは岐阜の工場の方。
ニッセンていうカタログ通販の配送センターの隣の敷地に工場を構えてパッドの生産をしている。

立ち上げ当初はロデール本社から立ち上げ要員として人が来ていた様だ。

岐阜の工場にはデモ装置はなかった。

連続カキコスマソ

45 :名も無きマテリアルさん:2005/07/15(金) 00:06:13
>>30

キャボットが世界で8割のシェアといわれている

しかし、インテルはフジミインコーポレットを提携会社としているらしい。
最近までフジミの株価はすごかったが最近は落ち着いたようだ



46 :名も無きマテリアルさん:2005/07/19(火) 19:27:34
A社は最低 説明する営業がまったくわかっとらん 
E社がまともである

47 :名も無きマテリアルさん:2005/08/04(木) 22:03:03
A:Applied Materials
E:EBARA

48 :名も無きマテリアルさん :2005/08/05(金) 18:21:19
>>45
うちには世界シェアの5割がフジミだって言ってたけど・・・・

49 :CMPリング:2005/08/11(木) 17:23:02
CMPリングについて教えて下さい。
CMPリングは皆さん純正品を購入しているのでしょうか?
それともほとんどセカンド品を購入しているのでしょうか?
セカンド品はどんなところがありますか?どこのがいいですか?シェアは?

50 :名も無きマテリアルさん:2005/08/21(日) 20:39:15
>>49
リング?
リテーナリングのこと?

51 :CMPリング:2005/08/23(火) 13:43:59
そうです。リテナーリングです。
リングの供給状況が知りたくて。
やっぱりアプライドとか荏原の純製品ですかね。
レスお願いします。

52 :774& ◆FJotLDPJXU :2005/08/24(水) 10:48:51
Kセラでいいと思うが図面ある?

53 :CMPリング:2005/08/24(水) 15:00:00
すいません。PPSだったら、どこがあります?

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